Popis poptávky

Předmětem veřejné zakázky je vakuový depoziční systém, který bude obsahovat čerpání pro dosažení vakua řádu jednotek 10-7 mbar či lepší, měření vakua, kontrolní systém, systém pro práci v definované atmosféře, měření in-situ tloušťky připravovaných tenkých vrstev, zařízení pro výměnu substrátů, systém pro instalaci substrátů s kontrolou teploty substrátů (a jejich ohřevem), subsystém pro dosažení dostatečné tloušťkové homogenity vrstev. Depoziční systém bude umožňovat naprašování, termické napařování, přípravu materiálů elektronovým svazkem a pulzní laserovou depozici.

Informace o zakázce

Podrobné informace o zadavateli a zakázce

Kategorie poptávky, klasifikace

• Stroje a zařízení pro chemický, farmaceutický průmysl, laboratoře, distributoři