Popis poptávky

Předmětem zakázky je dodávka elektronového litografu pro výrobu nano- a mikrostruktur pomocí elektronové litografie. Zařízení je dále schopno obrazové analýzy litograficky připravených struktur pomocí elektronové mikroskopie detekcí zpětně odražených elektronů. Zařízení se skládá z procesní komory a nezávisle čerpané zakládací komory. Je požadováno rozlišení menší než 10 nm. Možnost uchycení substrátů minimálně do průměru 6 palců a masek do velikosti 6 x 6 palců čtverečních a menších. Zařízení musí pracovat v energiovém rozsahu svazku od 1 kV do 30 kV minimálně. Celé zařízení je uloženo na vlastní podpůrné konstrukci. Zařízení musí umožnit i zpětnou kontrolu pomocí technik elektronové mikroskopie. Součástí dodávky je i výpočetní stanice a software umožňující nastavení a monitorování provozu zařízení a dále software pro návrh litografických struktur. Podrobná specifikace bude uvedena v zadávací dokumentaci.

Informace o zakázce

Podrobné informace o zadavateli a zakázce

Kategorie poptávky, klasifikace

• Tiskařské a vázací stroje, stroje pro sazbu knih, litografii, ofset, distributoři