Popis poptávky

Předmětem veřejné zakázky je přenosný laserový interferometr pro detekci koncového bodu při leptání vrstev pomocí plazmatu (RIE). Interferometr bude rovněž využíván pro in-situ sledování tloušťku rostoucí vrstvy při depozici vrstev pomocí plazmatu (PECVD). Součástí dodávky je CCD kamera a počítačem řízený xz posuv pro přesné nastavení místa měření. Ovládací software umožňuje nastavení koncového bodu leptací jak přímo z výstupního signálu tak i z jeho časové derivace .Přesné požadavky a specifikace budou uvedeny v zadávací dokumentaci.

Informace o zakázce

Podrobné informace o zadavateli a zakázce

Kategorie poptávky, klasifikace

• Spektrometry, fotometry, spektrofotometry, spektrografy