Popis poptávky

Dodávka souboru leptacích a depozičních zařízení pro sdílenou laboratoř CEITEC (Central European Institute of Technology) - Příprava a charakterizace nanostruktur. Dodávka zahrnuje následující zařízení: - Vakuový systém pro hluboké leptaní křemíku, - Vakuový systém pro depozici vrstev na bázi křemíku (a-Si,SiO2,Si3N4,SiC), - Vakuový systém pro leptaní kovů, křemíku , oxidu křemíku a depozici uhlíkových vrstev, - Vakuový systém pro leptaní kovů, III-V materiálů (GaN,InP), - Vakuový systém pro depozici materiálů pomocí PECVD za vysoké teploty. Zakázka může být zadávána rozdělena na dvě nebo více částí. Kompletní popis předmětu zakázky bude uveden oznámení o zakázce a zadávací dokumentaci. The subject matter of the contract is the supply of Complex of etching and deposition devices for CEITEC (Central European Institute of Technology) core facility - Nanofabrication and Nanocharacterization. The supply contains following devices: - Vacuum system for deep reactive ion etching of silicon, - Vacuum system for deposition of thin films on the silicon based (a-Si,SiO2,Si3N4,SiC), - Vacuum system for reactive ion etching of silicon, silicon oxide and deposition of carbon layers, - Vacuum system for reactive ion etching of metals, III-V materials (GaN,InP), - Vacuum system for deposition of materials using PECVD at high temperature. The tender may be procured in 2 or several lots. Complete description of subject matter will be specified in the Contract notice and Tender documentation.

Informace o zakázce

Podrobné informace o zadavateli a zakázce

Kategorie poptávky, klasifikace

• Stroje a zařízení pro chemický, farmaceutický průmysl, laboratoře, distributoři