Popis poptávky

Předmětem zakázky je dodávka souboru leptacích a depozičních zařízení pro sdílenou laboratoř CEITEC (Central European Institute of Technology) - Příprava a charakterizace nanostruktur. Zakázka je rozdělena na dvě části: Předmětem části 1 je dodávka následujících zařízení: - Vakuový systém pro depozici vrstev na bázi křemíku (a-Si,SiO2,Si3N4,SiC) - Vakuový systém pro leptaní kovů, křemíku, oxidu křemíku a depozici uhlíkových vrstev - Vakuový systém pro hluboké leptaní křemíku - Vakuový systém pro leptaní kovů, III-V materiálů (GaN,InP) Předmětem části 2 je dodávka zařízení: - Vakuový systém pro depozici materiálů pomocí PECVD za vysoké teploty. Kompletní popis předmětu zakázky a jejích částí je uveden v zadávací dokumentaci. The subject matter of the contract is the supply of complex of etching and deposition devices for CEITEC (Central European Institute of Technology) core facility - Nanofabrication and Nanocharacterization.supply of complex of etching and deposition devices for CEITEC (Central European Institute of Technology) core facility - Nanofabrication and Nanocharacterization. Public contract is subdivided into two lots. The subject matter of the lot No.1 of the contract is supply of complex of the following devices: - Vacuum system for deposition of thin films on the silicon based (a-Si,SiO2,Si3N4,SiC) - Vacuum system for reactive ion etching of silicon, silicon oxide and deposition of carbon layers - Vacuum system for deep reactive ion etching of silicon - Vacuum system for reactive ion etching of metals, III-V materials (GaN,InP) The subject matter of the lot No.2 of the contract is supply of following device: Vacuum system for deposition of materials using PECVD at high temperature For more information, please see the tender documentation.

Informace o zakázce

Podrobné informace o zadavateli a zakázce

Kategorie poptávky, klasifikace

• Stroje a zařízení pro chemický, farmaceutický průmysl, laboratoře, distributoři