Popis poptávky

Dodávka souboru leptacích a depozičních zařízení pro sdílenou laboratoř CEITEC (Central European Institute of Technology) - Příprava a charakterizace nanostruktur. Dodávka zahrnuje následující zařízení: - Vakuový systém pro hluboké leptaní křemíku, - Vakuový systém pro depozici vrstev na bázi křemíku (a-Si,SiO2,Si3N4,SiC), - Vakuový systém pro leptaní kovů, křemíku , oxidu křemíku a depozici uhlíkových vrstev - Vakuový systém pro leptaní kovů, III-V materiálů (GaN,InP) The object of the contract is the supply of Complex of etching and deposition devices for CEITEC (Central European Institute of Technology) core facility - Nanofabrication and Nanocharacterization. The supply contains following devices: - Vacuum system for deep reactive ion etching of silicon, - Vacuum system for deposition of thin films on the silicon based (a-Si,SiO2,Si3N4,SiC) - Vacuum system for reactive ion etching of silicon, silicon oxide and deposition of carbon layers - Vacuum system for reactive ion etching of metals, III-V materials (GaN,InP)

Informace o zakázce

Podrobné informace o zadavateli a zakázce

Kategorie poptávky, klasifikace

• Stroje a zařízení pro chemický, farmaceutický průmysl, laboratoře, distributoři